硬質(zhì)合金刀具CVD化學(xué)涂層常用的氣液體及特性。

CVD化學(xué)涂層中針對不同的涂層需要使用到不同的氣體，但針對常見的涂層只要使用的還是熟悉的那么幾種。

各種氣液體不同，存在的特性和風(fēng)險也會不同，那么其使用方式也就不同，具體說來有以下幾種：

1.氫氣（H2）:主要作為載氣，這種就不說了，易燃易爆。

2.氮氣（N2）:惰性氣體，無毒無害，但氣壓高時有窒息風(fēng)險。

3.甲烷（CH4）：這種也是易燃易爆氣體。主要用于制備預(yù)涂層。

4.一氧化碳（CO）:神經(jīng)性毒氣，中毒后不可逆，這種需要千萬小心。能用到生產(chǎn)的都是高純度的，千萬不要拿煤氣跟這個比。

5.二氧化碳（CO2）:惰性氣體，這種就是液化到汽化時存在凍傷風(fēng)險，這個還好。

6.氦氣（He）:這種也是惰性氣體，傷害較小，安全性較高。

7.氯化氫（HCL）:有毒腐蝕性氣體，通常泄露時有明顯藥物，呈液體狀時為綠色，小心哦這個。

8.硫化氫（H2S）:這個也是劇毒物質(zhì)，濃度低時能聞到臭雞蛋味，濃度高時無色無味，主要會麻痹你的神經(jīng)。所以接觸這個要相當(dāng)小心。

9.氨氣（NH3）:這種也是有毒物質(zhì)，味道跟衛(wèi)生間那種刺激性氣體一樣，沖鼻子，但還是那句話用到工業(yè)上的濃度不要跟那種比。

10.三氯化硼（BCl3）:和氯化氫一樣是有毒腐蝕性氣體。

11.四氯化鈦（TiCl4）:劇毒腐蝕性物質(zhì)，遇到空氣產(chǎn)生劇烈反應(yīng)，這個千萬要小心，風(fēng)險最高，腐蝕性特別強。

12.乙腈（CH3CN）：這種也是腐蝕性液體，但是化學(xué)性能更穩(wěn)定。

以上就是常見的，在CVD涂層中用到的都較多也很常見，所以搞涂層的都不容易。

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